TbFeCo系超磁歪薄膜を用いた力センサの検討
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概要
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- 2004-09-21
著者
-
脇若 弘之
信州大学
-
藤重 雅嗣
信州大学工学部
-
清宮 照夫
FDK(株))
-
藤重 雅嗣
信州大学カーボン科学研究所
-
青柳 典明
多摩川精機株式会社
-
鳥居 陽平
信州大学
-
鳥居 陽平
信州大学工学部電気電子工学科
-
青柳 典明
信州大学工学部
-
牧村 美加
長野工業試験場
-
青柳 典明
多摩川精機
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