3次元アトムプローブによる磁性薄膜解析の新展開(<特集>磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線)
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概要
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Recent advances in specimen preparation methods from thin films using the focused ion beam technique have made it possible to apply the atom probe technique for atomic layer characterization of various magnetic thin films. This paper reviews the recent advance in the 3DAP technique and its applications to thin film analysis. Compositional change at the interfaces of multilayer thin films, such as spin valves, has become possible with 3DAP. Future trends of atom probe instrumentation are also mentioned.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2005-04-01
著者
-
大久保 忠勝
独立行政法人物質・材料研究機構磁性材料センター
-
大久保 忠勝
物質・材料研究機構
-
宝野 和博
物質・材料研究機構
-
高橋 有紀子
物質・材料研究機構
-
宝野 和博
筑波大学数理物理科学研究科
-
宝野 和博
(独)物質・材料研究機構
-
宝野 和博
物材機構
-
高橋 有紀子
(独)物質・材料研究機構 磁性材料センターさきがけ-jst
-
宝野 和博
物質・材料研究機構 磁性材料セ
-
宝野 和博
物質・材料研究機構材料研究所ナノ組織解析グループ
-
大久保 忠勝
(独)物質・材料研究機構
-
大久保 忠勝
物質・材料研究機構材料研究所
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