酸素イオン注入シリコンカーバイドにおける埋め込み非晶質層の構造解析
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概要
著者
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大久保 忠勝
独立行政法人物質・材料研究機構磁性材料センター
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大久保 忠勝
物質・材料研究機構
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弘津 禎彦
大阪大学産業科学研究所
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石丸 学
大阪大学産業科学研究所
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弘津 禎彦
長岡技科大
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弘津 禎彦
大阪大学産業科学研究所高次制御材料科学研究部門材料機能物性研究分野
-
大久保 忠勝
大阪大学産研
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石丸 学
阪大産研
-
大久保 忠勝
(独)物質・材料研究機構
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大久保 忠勝
物質・材料研究機構材料研究所
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大久保 忠勝
大阪大学産業科学研究所
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