電子顕微鏡による分析技法の最先端(<特集>磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線)
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概要
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An elemental analysis in the nanoscale area is an important item in the evaluation of advanced materials, such as nanoparticles, semiconductors, and polymers. Transmission electron microscopy (TEM) has become a powerful tool for local information analysis at high spatial-resolution. Image resolution of the TEM is about 0.1nm, and spatial resolution for elemental analysis is on the 1nm order. The analytical capabilities of TEM are called analytical electron microscopy (AEM), which now has become wide spread and popular. This paper introduce the current state of analytical electron microscopy with some applications data obtained by combining TEM with both EDS (energy dispersive X-ray spectroscopy) and EELS (electron energy loss spectroscopy).
- 2005-04-01
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