MHz帯平面スパイラルインダクタの高性能化
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概要
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A method for structural design of thin-film spiral inductors was studied, using FEM electromagnetic field simulation. By analyzing the direction of the eddy current, we found that specific divisions of magnetic layers effectively reduced the electric power loss in magnetic layers. A 3 mm x 13 mm thin-film inductor for which L=0.9 μH, Q=14.5 and I_<bias>=0.55 A at 5 MHz was developed, based on an analysis of the electromagnetic field simulation. With this structure, a thin-film inductor of Q=20 was achieved by increasing the coil thickness.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2001-04-15
著者
-
堀 豊
宮城県産業技術総合センター
-
高田 健一
宮城県産業技術総合センター
-
白川 究
電気磁気材料研究所
-
白川 究
財団法人電気磁気材料研究所
-
村上 進
財団法人 電気磁気材料研究所
-
古川 博道
宮城県産業技術総合センター
-
三寺 正雄
(財) みやぎ産業振興機構
-
小野寺 隆視
(財) みやぎ産業振興機構
-
白川 究
(財) 電気磁気材料研究所
-
村上 進
(財) 電気磁気材料研究所
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