分子動力学法による同位体半導体の熱伝導度解析(半導体結晶成長II)
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概要
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Thermal conductivity of solid silicon as a function of the mole fraction of isotopes was investigated by molecular dynamics simulation. The thermal conductivity of isotope-silicon was calculated by using an empirical potential of Stillinger-Weber potential. We employed equilibrium molecular dynamics based on Green-Kubo's formula in which the autocorrelation function of heat flux was integrated as a function of duration time. The results of calculation showed that thermal conductivity of mixed isotope-silicon is smaller than that of pure isotope silicon. The results also showed that a pure isotope with a light mass has a large thermal conductivity.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
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