AFM・FFMの構築
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In this paper we present a new type AFM・FFM instrument designed, drawn, and constructed this by ourselves. The demands for measuring super finished surfaces are increasing in my faculty very much, however it is said that the commercial AFM costs as much as \30,000,000 or more. We have determined to develop the AFM・FFM together in 1997 and we have found out its principle, mechanism, electrical circuits and experimental data. We have newly applied the kinematic mounting in this in instrument which is supporting and adjusting samples to be measured. A circuit consisting of a position sensitive detector(PSD), and an integral circuit for data summation are manufactured and an optical lever method is applied for small amount of Si_3N_4 cantilever displacement detection. We have succeeded in measuring a Si grating pattern, compact disc surfaces, artificial sapphire surfaces coated by Al_2O_3.
- 社団法人日本時計学会の論文
- 2002-09-12
著者
関連論文
- テレビゲームコントローラを利用した細胞操作用二指マイクロマニピュレータ(第2報)(研究)
- 20706 感圧式導電性センサを用いたウェアラブル床反力計の開発(医療福祉のメカトロニクス2,OS.16 医療福祉のメカトロニクス)
- AFM の試作と回折格子の形状測定
- 三次元大ストローク弾性ヒンジメカニズムとその応用
- 小型フライス盤の設計と試作(研究)
- 21102 圧電素子を用いた回転型アクチュエータ(ロボティクス(3),OS.15 ロボティクス)
- 走査型プローブ顕微鏡の原理と応用技術の発展(精密工学の温故知新と新たな潮流)
- 角変位検出型 AFM の研究
- 大ストロークSTM
- 円筒研削盤時計部品取り付け軸の回転運動精度測定 : 四軸弾性変形機構によるセンタリング装置とマルチステップ法の適用
- テレビゲームコントローラを利用した細胞操作用二指マイクロマニピュレータ
- 多次元レーザによる精密測定
- AFM・FFMの構築
- 2P1-A14 感圧式導電性センサを用いた身体装着型床反力計測装置の開発 : 設計および性能評価実験
- 2A2-L11 ヒンジによる平行バネの防振法の開発
- 1A1-F01 エアシリンダを用いた二足歩行機の開発(脚式移動ロボット・メカトロニクス)
- 超薄・超軽ロボットの開発研究 : 第1報 一体構造関節マニピュレーター
- マイクロポール盤の設計及び製作