2A2-L11 ヒンジによる平行バネの防振法の開発
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概要
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The hinge mechanism of the all-in-one design structure has the characteristic as the positioning guide of the nanometer order. The vibration measures are indispensable to accurate positioning technology. Then, we researched the vibration absorption of a parallel spring that consisted of the hinge cut out from one board. The shape of a parallel spring has been changed that counter balance of a parallel spring and the single-piece construction that was the mechanism moving in the direction opposite the output part was add. The vibration absorption in the output part was verified with this mechanism. Moreover, the vibration absorption of a parallel spring that had the reduced scale mechanism by the counter balance mechanism was tried. We have got this experimental result: The effect of the vibration absorption of the counter balance on the resonance of the first mode was able to be proven.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-05-25
著者
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