3226 共振周波数より高い帯域における静電マイクロアクチュエータの制御
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概要
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In the case when an electro-static micro actuator has enough high mechanical resonance frequency for its goal servo bandwidth, it can be positioned adequately by open-loop control. But, for design limitations, if it have not sufficient stiffness, closed-loop conrol is needed. Additionally, according to driving mechanism, static electric force is changed not only by an applied voltage but also by its own position. In this case, a control system that have real-time position sensor need to be developped. We suggested a position sensing method using its capacitance change, and evaluate the posibility of controller using this method.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
-
佐々木 健
東京大学大学院
-
佐々木 健
東京大学 新領域創成科学研究科
-
岩田 理
東京大
-
佐々木 健
東大 大学院
-
佐々木 健
東京工業大学情報理工学研究科
-
大久保 俊文
東洋大学
-
大久保 俊文
東洋大
-
佐々木 健
東京大学
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