909 Ti-Ni 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロアクチュエーターの特性に及ぼすサイズ効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Diaphragm type microactuators were fabricated utilizing a Ti-Ni thin film sputter-deposited on a Si wafer by etching the Si. The shape of the diaphragms is a square with the dimensions ranging from 1,200 to 200mm. The microactuators were subjected to cooling and heating to expand and flatten due to the martensitic transformation and its reversion, respectively, under various constant gas pressures. The shapes of the microactuators were measured at various temperatures by laser beam measurement method. The actuator characteristics such as the actuation distance and work output were measured as a function of actuator size and gas pressure.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
関連論文
- 1232 形状記憶合金に生じる局部ひずみ帯の発生・伝ぱのメカニズム(J10-4 マイクロ・ナノ材料システムの力学と強度・機能評価(4) 形状記憶・電磁力学特性評価,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 集積型血液ガスセンサ2
- 集積型血液ガスセンサ
- Ti-Ni-Zr合金の形状記憶特性と加工性に及ぼすZr濃度の影響
- 半導体技術を用いる新規ニードル型バイオセンサー
- 乳房炎の早期診断のための高機能電気化学マイクロデバイス
- 半導体プロセスで作成するニードル型グルコースバイオセンサー:新規薄膜銀/塩化銀参照電極とプラズマ重合膜の利用
- S0303-3-5 アクチュエータ用Ti-Ni-Cuリボン材の特性(形状記憶合金の特性と応用展開(3))
- 活性酸素測定用マイクロフルーイディクスシステムの構築
- 唾液タンパク質被覆ハイドロキシアパタイト平板表面におけるゼータ電位
- K-0408 Ti-Ni-Cu形状記憶合金の繰返し超弾性試験における疲労特性の研究(S08-2 力学特性)(S08 形状記憶合金の製造・加工技術と機能発現)
- 905 Ti-Ni-Cu 形状記憶合金の疲労寿命に与える加工率の影響
- 人工高分子レセプターを用いたトリアジン系除草剤の簡易電気化学センサシステムの構築
- 分子インプリントポリマーを利用したアトラジンセンサチップ
- Fe系合金における再結晶集合組織に及ぼす強磁場の影響
- TiNbAl生体用形状記憶合金の格子変形歪みに及ぼす組成の影響
- K-0401 抵抗溶接されたTi-50.9at%Ni合金線材の形状記憶特性(S08-1 機能特性・変態)(S08 形状記憶合金の製造・加工技術と機能発現)
- 電位安定化フィードバック機能を有する微小銀/塩化銀参照電極
- プロテオーム解析のための抗体チップの試作
- 半導体技術を用いる新規ニードル型バイオセンサー
- 血液ガス分析を目的とした積層型微小センシングシステム
- Ti-Nb-Zr-Ta-O合金の塑性変形挙動と加工集合組織に及ぼすNb濃度の影響
- Ti-Ni-Cu形状記憶合金の有効ひずみエネルギーに及ぼす冷間加工率の影響
- 2106 NiTi薄板の集合組織と局部変形挙動(S06-1 形状記憶合金の特性と応用技術(1),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
- 1518 Ti-Ni 形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたダイアフラム型マイクロアクチュエータの動特性
- 910 Ti-Ni 合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの基本特性に及ぼす熱処理の効果
- 909 Ti-Ni 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロアクチュエーターの特性に及ぼすサイズ効果
- ニッケルフリーチタン基形状記憶合金を利用したラットの矯正学的歯の移動に関する研究
- 1014 Ti-Mo系形状記憶合金の機械的特性(S03-3 形状記憶合金の特性と応用技術(3),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 熱・力学サイクルおよび超弾性サイクルの繰返しによるTi-Ni-Cu形状記憶合金の変態温度の挙動
- Ti-41.7Ni-8.5Cu(at%)形状記憶合金の熱・力学サイクル条件での機能および強度劣化の確率論的信頼性評価
- Ti-41.7Ni-8.5Cu(at%)形状記憶合金の変態温度変化に及ぼす冷間加工および形状記憶処理の影響に対する確率論的予測(信頼性工学)
- 機能性チタン合金(4)添加元素の効果
- 機能性チタン合金(3)内部組織と形状記憶特性
- 機能性チタン合金(2)集合組織と形状記憶特性
- 709 Ti-Nb系合金の超弾性特性に及ぼす繰返し変形の影響(OS5-(1) インプラントおよび生体材料,オーガナイズドセッション)
- 機能性チタン合金(1)マルテンサイト変態と形状記憶効果
- 生体用Ti-18Zr-Nb合金の加工集合組織と機械的特性に及ぼすNb濃度の影響
- Ti-Zr-Nb合金の超弾性挙動に及ぼす窒素添加の影響
- 1012 Ti-Nb-Al超弾性合金ワイヤー材の集合組織に及ぼす焼鈍温度の影響(S03-3 形状記憶合金の特性と応用技術(3),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1003 スパッタ法により作製したTi-Ni超弾性マイクロチューブ(S03-1 形状記憶合金の特性と応用技術(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 新タイプ高温形状記憶合金の開発
- 2107 TiNbAl形状記憶合金の集合組織形成(S06-2 形状記憶合金の特性と応用技術(2),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
- 2108 AuTi-18Co合金の超弾性挙動(S06-2 形状記憶合金の特性と応用技術(2),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
- 2109 Ti-Nb-Mo-Al合金の変態・変形挙動(S06-2 形状記憶合金の特性と応用技術(2),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
- 216 生体用Ti-26Nb-3Al合金の集合組織に及ぼす圧延率の影響(OS9(3) 形状記憶合金の特性と応用)
- B添加TiNbAl合金の機械的特性と時効の影響
- Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜の微細組織
- 209 Ti-Ni 合金の水素チャージ下での変形挙動に及ぼす電解液の影響
- 606 Ti-Ni 合金の形状記憶特性におよぼす電流密度の影響
- 209 高温形状記憶合金TiAuの形状記憶特性(OS9(1) 形状記憶合金の特性と応用)
- The International Conference on Shape Memory and Superelastic Technologies (SMST 2007) 形状記憶および超弾性技術に関する国際会議
- The Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM-6) 第6回先進材料とプロセスに関する環太平洋国際会議
- 2122 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロアクチュエータと関連技術(S06-4 形状記憶合金の特性と応用技術(4),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
- 高温形状記憶合金の開発 (特集 大学発ベンチャーと新産業創造)
- 形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータの高速駆動と実用可能性 (特集2 次世代アクチュエータの加工,高効率化と最先端応用技術)
- 形状記憶合金の作動原理と最近の用途開発 (特集 マルチフェロイクス材料・デバイス研究開発への新展開)
- β型チタン形状記憶合金
- 1913 Ti-Ni-Cu形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータの作製(S17-3 形状記憶合金の特性と応用化技術(3),S17 形状記憶合金の特性と応用化技術)
- Ti-Ni基およびNi-Al基高温形状記憶合金の変態挙動
- 106 熱力学的繰返し条件下におけるTi-Ni-Cu形状記憶合金の変形挙動に及ぼす加工率の影響(O.S.1-2 アクチュエータ/センサ)(オーガナイズドセッション1 知的材料・構造システム)
- 844 Ti-Ni 系形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの開発
- 生体用超弾性チタン合金の開発
- 生体用Ti-Nb-Al合金の超弾性特性と機械的性質(OS7-2 形状記憶合金の環境特性,OS7 形状記憶合金の特性と応用化技術)
- NiMnGa粒子分散スマートコンポジットの形状記憶特性(OS7-1 形状記憶合金の作製とその変形特性,OS7 形状記憶合金の特性と応用化技術)
- K-0407 Ti-Ni-Cu形状記憶合金の超弾性特性に及ぼすCu添加量の影響 : 直列モデル型構成式に基づく逆解析による検討(S08-2 力学特性)(S08 形状記憶合金の製造・加工技術と機能発現)
- K-0402 Ti-Ni-Cu形状記憶合金の変態温度に及ぼすサイクル効果(S08-1 機能特性・変態)(S08 形状記憶合金の製造・加工技術と機能発現)
- 521 Ti-Ni 系形状記憶合金の機能劣化特性
- 840 DMA による形状記憶合金の防振特性評価
- 形状記憶合金粒子分散スマートコンポジット
- ここまできた!--ニッケルを含まない生体用超弾性チタン合金 (特集 第5回21世紀の境界領域研究を考えるシンポジウム)
- 412 形状記憶合金の熱・力学サイクルに対する変形挙動の逆解析モデル(OS3-2 形状記憶合金)(OS3 機械材料の変形とそのモデリング)
- 411 形状記憶合金の超弾性変形挙動の逆解析モデル(OS3-2 形状記憶合金)(OS3 機械材料の変形とそのモデリング)
- 410 形状記憶合金の2方向形状記憶現象の発現に対するモデル化(OS3-2 形状記憶合金)(OS3 機械材料の変形とそのモデリング)
- 形状記憶・超弾性合金 (特集:金属科学)
- 形状記憶合金マイクロアクチュエータ素子 (ナノテク時代のアクチュエータ技術)
- R相変態を利用したTi-Ni形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータの作製(OS7-4 形状記憶合金の特性と応用(2),OS7 形状記憶合金の特性と応用化技術)
- その2つの性質は,どのようにして現れるのか? 形状記憶合金のしくみ
- 911 Ti-Mo-Al生体用形状記憶合金の機械的性質に及ぼす多段時効の影響(OS9-3 形状記憶材料の特性と応用)
- 910 チタン基形状記憶合金のマルテンサイト相における内部摩擦ピークの出現条件(OS9-3 形状記憶材料の特性と応用)
- W05-(6) Ti-Ni 系形状記憶合金スパッタ薄膜の開発と応用
- 視点-縮む 形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータ
- 薬物キャリヤの新しいイメージ : 複合微粒子マグネトリポソームの開発
- 微粒子の医療への応用 : マグネト・リポソームの開発について
- Ti-Ni基およびTi基新規形状記憶合金の開発 (特集 形状記憶合金 : 最新の材料の開発と応用の発展)
- パイプ継手などで信頼性の高い形状記憶機能材料 (特集 機能性材料の開発・応用動向)
- 406 熱力学的サイクル条件下での Ti-41.7%Ni-8.5%Cu 形状記憶合金の機能および強度の劣化に対する確率論的推定
- 405 Ti-41.7%Ni-8.5%Cu 形状記憶合金の各変態温度に及ぼす冷間加工率および形状記憶処理の影響の予測
- 形状記憶合金薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用(形状記憶合金研究の新たな展開)
- 生体用形状記憶合金の開発の現状 (第2回「21世紀の境界領域研究を考えるシンポジウム」)
- 第3回形状記憶と超弾性技術に関する国際会議(SMST-2000)
- K05 形状記憶合金の最近の研究と応用の動向
- 形状記憶合金のマイクロマシンへの応用
- 筑波大学における材料教育の現状 (特集 金属系分野における人材の育成)
- JIMIC-8 International Conference on Martensitic Transformations (ICOMAT-2011) 会議報告
- 基礎化学品製造の実際と高校での教育実践 形状記憶合金の基礎
- Ti-Ni系形状記憶合金の研究と開発経緯
- 形状記憶合金の基礎(基礎化学品製造の実際と高校での教育実践)
- 侵入型元素を添加したチタン基合金のマルテンサイト変態と超弾性特性
- 形状記憶合金の開発動向と展望