W05-(6) Ti-Ni 系形状記憶合金スパッタ薄膜の開発と応用

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-08-05

著者

• 宮崎 修一

  筑波大学大学院数理物質科学研究科

• 宮崎 修一

  筑波大学物質工学系

• 松村 英夫

  産業技術総合研究所

• 宮崎 修一

  筑波大学

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