2122 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロアクチュエータと関連技術(S06-4 形状記憶合金の特性と応用技術(4),S06 形状記憶合金の特性と応用技術)
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概要
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Static and dynamic actuation properties of two types of high-speed microactuators utilizing shape memory alloy (SMA) thin films are investigated: the two types are microactuators utilizing a Ti-Ni-Pd high temperature SMA thin film and a Ti-Ni SMA thin film which reveals a small transformation temperature hysteresis by the R-phase transformation. Science and technology related topics including the alloying process of Ti/Ni multilayer films and the characteristics of micro-tubes are also reviewed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
-
宮崎 修一
筑波大
-
宮崎 修一
筑波大学大学院数理物質科学研究科
-
松村 英夫
産業技術総合研究所
-
ブエンコンセホ ピオ
筑波大
-
友澤 方成
筑波大
-
金 煕榮
筑波大
-
宮崎 修一
筑波大学
-
金 熙榮
筑波大学大学院数理物質科学研究科
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