805 モンテカルロシミュレーションによる TiN 薄膜の強度評価
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概要
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The damage process of TiN thin film has been studied and the elastplastic shear-lag approach which consider the plasticity of substrate is proposed to evaluate the damages under the monotonic loading. In order to assert the validity of the present approach, we conducted the elastoplastic FEM analysis based on the strain increamental theory. The present results have good agreements with FEM results. The strength properties of TiN film were obtained with the Monte Carlo simulation using the present approach.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
清水 真佐男
慶應義塾大学理工学部
-
武田 展雄
東大
-
清水 真佐男
慶大
-
岡部 朋永
東北大学大学院工学研究科
-
武田 展雄
東大新領域創成科学研究科
-
清水 真佐男
慶應大
-
谷中 雅顕
凸版印刷(株)
-
岡部 朋永
東大
-
谷中 雅顕
凸版印刷
-
三澤 一慎
慶大院
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