401 <110> 繊維配向した TiN 薄膜の力学特性の X 線的研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The residual stress in TiN film was measured by the X-ray method. TiN film was deposited on steel substrate by ion beam mixing method and the thickness was 1μm. The residual stress in TiN film was equi-biaxial and the value was about -5.5GPa compression. When uniaxial tensile loading was applied to the substrate, the stress in the film was in the biaxial state of stress because of the mismatch of Poisson's ratio. The result agreed well with the prediction. When the measured stress in the film becomes tension, the stress stop increasing even though the applied strain keep increasing. This leveling of the stress was caused by cracking of the film.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
三木 靖浩
奈良県工業技術センター
-
秋庭 義明
名大工
-
田中 啓介
名大工
-
石井 高博
いすゞ自動車(株)藤沢工場
-
伊藤 登史政
名大院
-
石井 高博
名大院
-
三木 靖浩
奈良工業技術センター
-
伊藤 登史政
デンソー(株)
-
三木 靖浩
奈良県工技セ
関連論文
- PPS上に形成したDLC膜のトライボロジー特性(J17-2 表面改質とトライボロジー(II),J17 表面改質とトライボロジー)
- DLC膜の密着性に及ぼすSiCショットブラスト処理の影響
- 熱サイクルにおける固体酸化物型燃料電池セラミックスのX線応力測定(S06-3 放射光応力評価の実用化,S06 放射光による応力測定と残留応力評価)
- 2136 繰返し負荷を受けた圧電セラミックスのEBSP観察(S12-2 圧電材料,S12 先端材料システムの強度・機能評価とメゾメカニックス)
- 324 ショットピーニングによる表面強加工材の残留応力分布と疲労強度(ピーニング・溶接による残留応力評価と材料強度,オーガナイズドセッション3.応力・ひずみの測定と材料強度)
- 517 微視き裂発生に基づく多孔質セラミックスの破壊解析
- 916 ぜい性材料における微視き裂の発生及び進展解析
- 545 脆性材料の破壊挙動に及ぼす微視き裂の影響
- 409 遮熱コーティング材における疲労損傷のX線的評価(表面処理材の特性評価,学術講演)
- 205 超細粒鋼の疲労き裂伝ぱにおよぼす微視構造の影響(セッション7)
- 411 EBSD法およびAFMによる超細粒鋼(SUF鋼)における疲労き裂伝ぱ微視機構の検討(疲労特性,学術講演)
- EBSP法による超細粒鋼(SUF鋼)の疲労き裂伝ぱにおける微視構造の影響に関する検討(S14-5 き裂の進展挙動,S14 金属材料の疲労特性と破壊機構)
- 705 超細粒鋼(SUF 鋼)の疲労き裂伝ぱにおよぼす結晶方位および微視組織の影響
- 741 AFM 観察による超細粒鋼(SUF 鋼)の疲労き裂発生機構の解析
- 758 超細粒鋼(SUF 鋼)における疲労き裂発生過程のナノスケール観察
- 327 超微細粒鋼における疲労き裂伝ぱに及ぼす微視組織の影響(材料力学-疲労2)
- 1005 TiNiの疲労き裂伝ぱ特性の解明と薄膜アクチュエータへの応用(S03-1 形状記憶合金の特性と応用技術(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 104 形状記憶合金TiNiの疲労き裂伝ぱ特性に関する研究(OS1-1 形状記憶材料の特性評価,OS1 固体力学の最前線:実験とシミュレーション)
- 440 ねじり・引張複合負荷条件での予き裂からの疲労き裂進展挙動
- 505 長繊維強化MMCの疲労き裂における繊維架橋応力のX線測定と数値解析(応力測定法・応力計算, 残留応力の測定と評価)
- 526 ECAP加工されたサブミクロン結晶銅における疲労き裂伝ぱのEBSD解析(OS3(2) 疲労き裂進展)
- 527 表層ナノ結晶を有する鋼における残留応力分布の測定(OS5(1) 放射光,中性子,X線による材料強度の評価)
- 602 ナノ結晶構造を有するECAP銅における疲労損傷機構のEBSD解析(GS18 疲労43)
- 1757 ナノ結晶構造のEBSD解析に基づく超細粒Cuの強度および変形機構の解明(S16-6 先進材料の創成・評価,S16 先進材料の強度・機能評価とメゾメカニックス)
- イオンビームミキシング法によって Ti-N 膜を被覆したドリルの切削性能
- イオンビームミキシング法によって TiN 膜を被覆したドリルの切削性能
- イオンビームミキシング法によって作製した Ti-N 膜の耐摩擦性
- イオンビームミキシング法によって作製したTi-N系膜の残留応力と諸特性
- イオンビームミキシング法によって作製した Ti-N 膜のダイナミック硬さ
- イオンビームミキシング法によって作製した Ti-N 膜中の生成相の領域に及ぼす作製条件の影響
- 115 クロムモリブデン鋼のギガサイクル疲労強度評価(微視組織と疲労強度評価I, 疲労の実際と最新の話題 微視組織と疲労強度評価)
- 102 ねじり・引張複合荷重条件下での予き裂からのき裂進展の破壊力学アプローチ(O.S.金属材料の疲労特性とメカニズム)
- 317 混合モードI+IIでの予き裂からの疲労き裂進展挙動(材料力学-疲労1)
- P-SC327-6 薄膜・厚さ方向の応力分布評価について
- 712 不均質微構造を有するセラミックスのマクロ応力解析に及ぼすモデル寸法の影響
- 230 炭素繊維強化複合材料のモードI疲労き裂伝ぱにおよぼすき裂架橋の影響(FRPの疲労I)
- 418 窒化ケイ素セラミックスのピーニングによる表面強化(OS7(2) 表面改質による高機能化)
- 2323 ショットピーニングしたセラミックスの残留応力分布と表面強度(S32-3 セラミックスおよびセラミックス系複合材料(3),S32 セラミックスおよびセラミックス系複合材料)
- 侵入深さ一定法による残留応力分布の放射光非破壊測定(S06-2 材料内部の非破壊応力評価,S06 放射光による応力測定と残留応力評価)
- シンクロトロン放射光によるアルミナのき裂先端の応力遮蔽効果の評価(S06-1 薄膜・微小郎域の応力評価,S06 放射光による応力測定と残留応力評価)
- 515 繊維配向を有する多結晶薄膜における弾性特性の有限要素解析
- 310 繊維配向したTiN薄膜の破壊強度に及ぼす膜厚の影響(材料力学-機能材料)
- 401 繊維配向した TiN 薄膜の力学特性の X 線的研究
- TiN皮膜の残留応力の熱処理による変化(X線材料強度)
- アーク・イオンプレーティング法により形成されたTiN皮膜のX線残留応力測定(X線材料強度)
- 101 繰り返しねじり負荷条件下での円孔からの疲労き裂進展に関する研究(O.S.金属材料の疲労特性とメカニズム)
- 227 一方向CFRPの混合モードにおける疲労き裂伝ぱ特性(PMC:疲労とき裂成長)
- 513 R曲線法による円孔材のねじり : 軸力複合荷重下での疲労下限界の予測(OS2-3,OS2 各種機械材料の疲労挙動と強度評価)
- 320 R曲線法による円孔材の複合荷重下での疲労下限界の予測(GS10 疲労33)
- 311 多孔質セラミックスの破壊解析(材料力学-破壊・変形解析)
- 長繊維FRPのマトリックスき裂の解析における不均質モデルと三層構造モデルの比較
- 402 イオンビームミキシング法により作製した TiN 薄膜の X 線残留応力測定
- 1319 SUS316ねじり疲労での活動すべり系と疲労き裂発生のEBSD・AFM複合解析(S21-2 疲労破面性状と疲労微視組織の解析,S21 金属材料の疲労特性と破壊機構)
- 501 多結晶セラミックスの弾性率に及ぼす微構造の影響
- P-SC327-3 SPring-8 の X 線応力測定への適用動向
- 239 SiCウイスカ-強化アルミニウム合金切欠き材における微小疲労き裂の伝ぱ(金属基複合材料)
- 504 形状記憶合金TiNiの疲労き裂先端における応力誘起マルテンサイト分布の測定(OS2-1,OS2 各種機械材料の疲労挙動と強度評価)
- 1901 TiNiの疲労き裂伝ぱにおよぼすマルテンサイトの影響(S17-1 形状記憶合金の特性と応用化技術(1),S17 形状記憶合金の特性と応用化技術)
- 2737 多孔質セラミックスの疲労き裂の開口挙動(S28-3 セラミックスおよびセラミックス系複合材料(3),S28 セラミックスおよびセラミックス系複合材料)
- 多孔質セラミックスの疲労き裂進展に及ぼす荷重周波数の影響(OS4-7 寿命(2),OS4 微視構造を有する材料の変形と破壊)
- 913 多孔質炭化ケイ素セラミックスの切欠き材における疲労破壊に及ぼす荷重周波数の影響
- 231 多孔質アルミナの切欠き材における破壊強度に及ぼす切欠き深さの影響
- 419 多孔質セラミックスの切欠き破壊強度
- 116 多孔質炭化ケイ素セラミックスの切欠き材における疲労破壊機構(材料力学I)
- P-SC327-5 シンクロトロン放射光によるセラミックスのき裂近傍の応力分布評価
- 625 多孔質セラミックスの切欠き材における曲げ強度と破壊機構
- 830 多孔質炭化ケイ素セラミックスの切欠き材における疲労破壊機構
- 無潤滑加工を目指した切削工具用DLC膜の開発(第1報)DLC膜の耐熱性に及ぼすSiの添加効果
- PVDコーティングしたTiN膜のX線残留応力測定とその機械的特性〔概要〕
- 332 TiN 薄膜の抵抗率に及ぼす残留応力の影響
- 322 ラマン分光法による DLC 膜の残留応力測定
- アークイオンプレーティング法によるアルミニウム基板へのTiN膜の形成とその機械的特性
- 913 圧電セラミックスにおける疲労き裂の進展挙動
- 908 機械的および電気的負荷での PZT における疲労き裂進展
- 307 菱面体晶PZTにおける格子ひずみとドメインスイッチングのX線的評価(材料力学-機能材料)
- 133 形状記憶合金 TiNi における疲労き裂伝ぱに関する研究
- 611 多孔質セラミックスの曲げ強度と破壊機構(材料力学III)
- バイオ精製処理方法を用いた新規天然繊維の開発
- 108 炭素繊維強化 PEEK 積層板の混合モード疲労き裂進展挙動
- 133 積層複合材料のはく離進展抑制のためのアクチュエータ利用の有効性の検討
- 346 アクチュエータを用いた積層複合材料のはく離進展抑制効果
- 311 炭素繊維強化複合材料の混合モード層間はく離き裂進展の破壊力学特性
- 繰返しねじり・引張り複合荷重条件下での予き裂からの疲労き裂伝ぱ挙動の予測(GS12 き裂進展)
- き裂を有する長繊維強化複合材料のマトリックス相応力分布の3次元有限要素解析(S07-3 複合材料I,S07 メゾスケールにおける先進材料の力学と強度・機能評価)
- 324 多孔質炭化ケイ素セラミックスの疲労破壊に及ぼす荷重周波数の影響(材料力学-疲労2)
- 316 混合モード(I+III)弾塑性疲労破面のX線フラクトグラフィ(材料力学-疲労1)
- 122 AIP 法による TiN 皮膜の X 線残留応力測定
- 619 オーステナイト系ステンレス鋼における複合荷重下での疲労損傷の微視的観察(OS12-1 複合荷重下における疲労および疲労き裂進展挙動の最先端研究,OS12 複合荷重下における疲労および疲労き裂進展挙動の最先端研究)
- 320 SCS-6/Ti-15-3複合材料における微小疲労き裂の伝ぱ(材料力学-疲労1)
- 821 SCS-6/Ti-15-3 複合材料における疲労き裂の発生および伝ぱ挙動
- 514 SCS-6/Ti-15-3 複合材料における疲労き裂の発生および伝ぱ挙動
- 428 混合モード (I+III) 荷重下における丸棒環状き裂の J 積分評価
- 112 疲労き裂と微視組織の相互作用の解析
- 金型内一体成形による複合射出製品の高度化に関する研究開発--水中ポンプインペラの耐摩耗性に関する研究
- 金型内一体成形による複合射出製品の高度化に関する研究開発--界面接着性能の改善
- 404 微小切欠き材の疲労強度(材料力学-材料の疲労と破壊)
- 525 疲労き裂伝ぱシミュレーションに基づく微小き裂伝ぱの解析
- 105 離散転位モデルによる微小疲労き裂伝ぱの解析(O.S.金属材料の疲労特性とメカニズム)
- 314 UBMS法で成膜した酸窒化クロム薄膜のX線残留応力測定(表面処理・複合材料,非破壊材料・強度評価と応用,オーガナイスドセッション3)
- 304 Si含有炭素系膜および基材界面近傍における残留応力挙動(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)