332 マイクロマシン用箔材料のSEM内引張試験システム(マイクロ材料)

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概要

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• The aim of this study is the standardization of micro tensile test method of thin films for micro electron mechanical systems. Specimen is thin film fabricated by UV-LIGA and Ni electroforming processes. This micro tensile test system has been developed as a micro factory cell and is working in a scanning electron microscopic field of view. Micro grid is drawn by electron-beam-lithography. It is used for strain analysis.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-06-23

著者

• 大橋 隆弘

  早稲田大学

• 大橋 隆弘

  群馬大・学

• 大橋 隆弘

  群馬大

• 柳沢 知之

  群馬大・院

• 早乙女 康典

  群馬大・学

• Ohashi Takahiro

  Digital Manufacturing Research Center National Institute Of Advanced Industrial Science And Technolo

• Ohashi Takahiro

  Metal Forming Research Division Digital Manufac- Turing Research Center National Institute Of Advanc

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