211 水平磁場印加電磁攪拌によるシリコン結晶育成時の融液流動解析
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概要
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Flow with three-dimensional time-dependent phenomena of silicon melt in an electromagnetic Czochralski (EMCZ) system with transverse magnetic fields was numerically investigated. This paper focused on the effect of electrode positions and direction of electric current on heat and oxygen transfer in the melt. The results showed that the case with current flow perpendicular to the magnetic fields can modify heat and oxygen transfer in the melt. The also results showed that electric current flow perpendicular to the applied transverse magnetic fields enhanced heat and oxygen transfer from crucible to a crystal in the melt.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-11-22
著者
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