1801 太陽陽電池とLSI用シリコン結晶における欠陥の動的シミュレーション(OS18. シリコンとシミュレーション,オーガナイズドセッション講演)
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概要
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本講演では、太陽電池やLSIに使用されているシリコン結晶中の欠陥や不純物の挙動を、動的数値解析により検討を行った結果について紹介する。シリコン結晶中の欠陥や不純物は、結晶育成プロセスに強く依存する。すなわち、温度、圧力等の諸パラメータにより、その分布や形状が変化する。本講演では、結晶成長中の温度等を総合伝熱解析により解析し、その結果を使用して不純物や欠陥分布の解析を行った。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-09-23
著者
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