窒化けい素セラミックスの無欠陥レーザ加工
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概要
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In the laser machining of ceramics, it is difficult to avoid the formation of a recast layers and cracks. These deffects significantly spoil some excellent properties of ceramics. This paper describes the feasibility of a crack-free processing method. for hot-pressed silicon nitride (Si_3N_4) ceramics with an yttrium aluminum garnet (YAG) laser. It is found that, in order to attain the defect-free machining, it is necessary to process the ceramics using a laser beam pulsed below 500 ns in duration and 10 kHz in repetition rate.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1990-02-25
著者
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