3点法による真円度測定における高次成分算出の試行
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概要
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In the field of roundness measurements, the 3-point method is very useful. We used this method for precise column estimation in the range of 0.01 micron p-p including high-order harmonic components up to the 254th. The high-order calculation is critical for setting angles among three sensors. We determined the invalid setting angles and showed it on a chart, and we show a method for obtaining suitable accurate angles among these sensors. We are testing the relative accuracy on the testing model. Absolute accuracy has not been confirmed yet, but we consider that these results show me a reasonable roundness.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1996-12-25
著者
-
滑川 徹
金沢大学理工研究域電子情報学系
-
滑川 徹
金沢大学 大学院 自然科学研究科
-
松村 文夫
金沢大
-
松村 文夫
石川工業高等専門学校建築学科
-
原 外満
(株)不二越
-
滑川 徹
金沢大学工学部
-
松村 文夫
金沢大学工学部
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