圧電素子応用微量液送ポンプの基礎検討 (<小特集>電磁力関連のダイナミックスと制御)
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概要
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Generally, a peristaltic pump and a syringe pump have been used to feed about 2(m1/min) of liquid. But, as neither a continuous flow nor a low fluctuation flow can be realized simultaneously, a new type of microquantity pump is required in the field of pharmaceutic manufacturing. Therefore piezo-elements were applied to make a 2-dimensional pump suitable for multichannel and multistage pumps. The experiments have revealed that the pump successfully works and its head reaches a maximum of 18(kPa).
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1992-12-25
著者
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坪内 邦良
(株)日立製作所 電力・電機開発研究所
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高木 勇輔
(株)日立製作所宇宙技術推進本部
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小島 吉夫
(株)日立製作所機械研究所
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奥沢 務
(株)日立製作所 電力・電機グループ
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坪内 邦良
(株)日立製作所機械研究所
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奥沢 務
(株)日立製作所機械研究所
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浜野 亘男
(株)日立製作所宇宙技術推進本部
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浜野 亘男
日立
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