単結晶シリコンの研削加工に関する研究 : 第2報,脆性-延性遷移における材料温度および荷重負荷速度の影響
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概要
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This study analyzes the effect of temperature and load rate on brittle-ductile transition (B-D-T). The purpose is to control grinding conditions on the basis of an understanding of the micro mechanism of B-D-T. In the study, both indentation and scratching experiments were carried out under various temperatures. The specimen is heated by CO_2 laser beam up to 750℃. The relationships among crack length, temperature and load rate are discussed. The load rate is larger under conditions of low temperature, high speed and heavy load. Larger load rate will cause occurrence of brittle fracture. As a result, it is clarified that B-D-T is affected directly by a specimen's temperature and load fate in addition to the critical depth of cut.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1992-11-25
著者
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