AFM/STM複合装置による酸化物粒子の観察と酸化膜の膜厚測定
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概要
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An AFM/STM hybrid system is a potential tool because it enables one to obtain the current or force images in addition to ordinary AFM or STM topographic images. The current image in the AFM mode reflects the electric properties on the specimen surface. In fact, 200-nm-diameter ZrO_2particles dispersed in a Mo matrix were clearly detected in the current image. Furthermore, a new method for thickness measurement of surface films was proposed, combining current imaging and nano-machining techniques. The thickness of the oxide film on Mo single crystal was 16-24 nm, 170-350 nm, and 370-490 nm for the specimens oxidized at 300℃ for 72 hours, at 400℃ for 24 hours, and at 400℃ for 72 hours, respecitively.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1995-03-25
著者
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