不純物酸素量の少ないα-Si_3N_4の合成
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1976-01-01
著者
-
田中 広吉
科学技術庁無機材質研究所
-
木島 弌倫
科学技術庁無機材質研究所
-
瀬高 信雄
科学技術庁無機材質研究所
-
瀬高 信雄
科学技術庁・無機材質研究所 成蹊大学工学部工業化学科
-
瀬高 信雄
科学技術庁・無機材質研究所
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