高温気相反応による炭化珪素のコーティング : 化学蒸着(Chemical Vapor Deposition)に関する基礎的研究 (第1報)
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1967-02-01
著者
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河嶋 千尋
東京工業大学
-
河嶋 千尋
科学技術庁・無機材質研究所 成蹊大学工学部工業化学科
-
瀬高 信雄
東京工業大学・工業材料研究所
-
中川 順吉
東京工業大学・工業材料研究所
-
瀬高 信雄
科学技術庁・無機材質研究所 成蹊大学工学部工業化学科
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