ダイヤモンド気相合成法の現状と展望 : その他
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概要
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ダイヤモンドは加工が難しく,高価であることから利用の難しい材料の一つである.気相合成法によるダイヤモンドの形成は1981年に瀬高らが発表して以来日本で多くの手法が開発されてきIIaと同じである.超高圧では作製できない大型や複雑な形状のダイヤモンドが作製できるところからこれまでにない応用が期待できる.気相合成ダイヤモンドの応用は既に始まっており,工具,スピーカ振動板,X線ウインドー等で使用されている.ダイヤモンドは電子材料としても多くの可能性を持っており,半導体デバイスの研究も始まっている.しかし,気相合成ダイヤモンドの更に広い応用にはプロセスのさらなる改良が要請されている.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1991-10-01
著者
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