rfマグネトロンスパッタ法を用いた酸化物熱電材料Ca_<3.4>Al_<1.2>Co_2O_y薄膜の作製及びその評価
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概要
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We prepared and characterized thin films of n- type oxide thermoelectric material Ca_<3.4>Al_<1.2>Co_2O_y (CACO) by rf magnetron sputtering method. We successfully obtained the good crystalline c-axis oriented CACO thin films on a SrTiO_3 (STO)(100) substrate. The electrical resistivity and the Seebeck coefficient of a CACO film with 1.4 μm thickness were measured along the ab-plane in the temperature range from 300 to 900 K. From an Arrhenius plot of resistivity values, we estimated that the activation energy of 0.33 eV for the CACO films. The Seebeck coefficient of the film was about -60 μVK^<-1> at 370K. The conduction type was changed from n- to p-type with increasing temperature.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-06-01
著者
-
高井 吉明
名大工
-
吉田 隆
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
上野 美香
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
高井 吉明
名古屋大学大学院 工学研究科 エネルギー理工学専攻
-
寺田 隆洋
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
寺田 隆洋
名古屋大学大学院理工学研究科
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