AlCl_3・NH_3-NH_3-N_2系気相反応により合成したAlN粉体の形態

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概要

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• AIN powders were prepared by vapor phase reaction of AlCl_3・NH_3-NH_3-N_2 system. AlCl_3・NH_3 was prepared by the evaporation and decomposition of AlCl_3・nNH_3 (n=1.7-1.8) at 430℃. The shape of AIN particles varied with the molar ratio [NH_3]/ [AlCl_3・NH_3](X) or the synthesis temperature (T_R) . At T_R = 1400 ℃, AIN particles had columnar crystals at X≦7, but had smooth surface at X≧9. However, at T_R=1000℃, AIN particles had smooth surface even at X =4.2.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1989-08-01

著者

• 渡 孝則

  佐賀大学理工学部

• 松田 應作

  東和大学工学部

• 松田 應作

  佐賀大学理工学部

• 秋月 俊彦

  佐賀大学理工学部工業化学科

• 池田 博志

  佐賀大学理工学部工業化学科

• 烏飼 紀雄

  佐賀大学理工学部工業化学科

• 池田 博志

  佐賀大学理工学部工業化学科:福菱セミコンエンジニアリング(株)

• 渡 孝則

  佐賀大学理工学部工業化学科

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