AlNと電極金属との濡れ性と界面
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概要
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Wetting properties of AlN to electrode metals and their interfaces were studied by measuring the contact angles in a vacuum (10^<-3>Pa) and a reducing at mosphere of 5%. H_2/N_2. Metals of Ag, Cu, m, Sn, Bi and Pb were tested. AlN is not wetted by any metals showing obtuse contact angles, and the interfaces between metals and AlN do not reveal the diffusion of any metal. The wettability varies as a function of oxidation potential and ionic radius of metals. An electron transferring model associating with the contribution of the oxide at an interface is proposed for the wetting mechanism of AlN to the metal. Furthermore, the adherence of the metals onto AlN is suggested to be caused by the difference of electronegativity between the electrode metals and the metal in the substrate.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1994-03-01
著者
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