酸化鉄薄膜の微細構造とNO_2検知特性
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概要
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W doped Fe_2O_3 films have been fabricated on poly crystalline alumina substrates by the RF magnetron sputtering method, and effects of annealing temperature on the NO_2 sensing properties have been examined. The crystal structure of the obtained film changed from Fe_3O_4 to a Fe_2O_3 after annealing at temperatures of 500 to 700℃ in air. An increase in the annealing temperature increased the particle size, resulting in a decrease in the NO_2-gas sensitivity. These results suggest that the NO_2 sensitivity of W doped Fe_2O_3 film depends on the particle size.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1994-02-01
著者
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國次 真輔
岡山県工業技術センター
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國次 真輔
愛媛大学工学部応用化学科
-
KUNITSUGU Shinsuke
Industrial Technology Center of Okayama Prefecture
-
岡田 元次
愛媛大 工
-
松嶋 茂憲
愛媛大学工学部応用化学科
-
小林 健吉郎
愛媛大学工学部応用化学科
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岡田 元次
愛媛大学工学部応用化学科
-
國次 真輔
岡山県工業技術センター 研究開発部
-
Kunitsugu Shinsuke
The Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, Okayama 701-1296, Japan
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