化学溶液堆積法による酸化亜鉛薄膜の形態及び結晶性に及ぼす紫外線照射の効果
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概要
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ZnO films were prepared from an aqueous nitrate solution containing acetylacetone by a method combining chemical solution deposition and UV-irradiation. It was clarified by X-ray diffraction analysis that irradiating ZnO precursor films with UV induces crystallization at relatively lower temperatures compared with a non-irradiation processes. Changes in the structural bonds of the precursor films before and after irradiation were studied by infrared spectroscopy. The effects of UV-irradiation on film transparency and morphology were discussed based on UV spectroscopy and scanning electron microscopy observations.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2001-01-01
著者
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西山 伸
千葉大学工学部機能材料工学科
-
服部 豪夫
千葉大 工
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SUKUR Edi
千葉大学大学院自然科学研究科物質高次科学専攻
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服部 豪夫
千葉大学大学院自然科学研究科物質高次科学専攻
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西山 伸
千葉大
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西山 伸
千葉大学工学部物質工学科
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