29p-PSB-11 塩素吸着シリコン表面の光刺激脱離

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-03-16

著者

• 小森 文夫

  東大・物性研

• 村田 好正

  東大生産研

• 首藤 健一

  東京大学・物性研究所

• 服部 賢

  東大・物性研

• 首藤 健一

  東大・物性研

• 村田 好正

  東大・物性研

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