27a-ZD-9 電子回折X線分光によるSi(100)表面におけるGe,Snのドープ過程の研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-09-12

著者

• 長谷川 修司

  東大理

• 霜越 文夫

  東大理

• 井野 正三

  東大理

• 金田 修明

  東大理

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