20aTD-1 Shallow Implantation の MD シミュレーション

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-08-15

著者

• 板橋 浩一

  岡山理大総合情報

• 村本 哲也

  岡山理大総情

• 山村 泰道

  岡山理大総情

• 中川 幸子

  岡理大・理

• 山村 泰道

  岡山理大総合情報

• 山村 泰道

  Okayama University Of Science

• 村本 哲也

  岡山理大総合情報

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