25a-E-7 ECRプラズマによる薄膜生成における基板の電位効果
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-09-05
著者
-
加藤 裕史
富山県大・工
-
小泉 康浩
新明和工業(株) 開発センタ
-
砂川 道夫
新明和工業(株)開発セ
-
谷 二三夫
新明和工業(株)
-
谷 二三夫
新明和工業(株)開発セ
-
石井 成行
富山県大・工
-
加藤 裕史
富山県大工
-
石井 成行
富山県大工
-
森下 直人
富山県大工
-
小泉 康浩
新明和工業(株)開発セ
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