石井 成行 | 富山県大工

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概要

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著作論文

• 25pB-9 ECR多価イオン源におけるアフターグロー効果とパルス変調マイクロ波給電効果
• 25a-E-7 ECRプラズマによる薄膜生成における基板の電位効果
• 28a-L-10 ECR多価イオン源内のポテンシャル分布について
• 7a-YP-7 SiPINダイオード検出器によるECR多価イオン源の軟x線波高分析
• ECR多価イオン源におけるArガス中への酸素混入効果とプラズマパラメータ測定
• 4a-L-9 ECR多価イオン源における真空紫外分光
• 1p-L-6 ECRイオン源における多価イオン発生に対するモデリングと多重電離の効果(原子・分子)

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