13a-DF-14 半導体デバイスの表面を加工処理したときに生じる機械的損傷, 欠陥と電子特性の評価と対策

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-09-20

著者

• 黒田 司

  阪大産研

• 八木 秀一

  阪大産研

• 小笠原 俊英

  阪大産研

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