3a-J-4 イオンビームスパッタリング法によるa-Si/Nb膜の電気伝導

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1994-08-16

著者

• 落合 勇一

  千葉大工

• 山本 和貫

  千葉大工

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