研磨ロボット用表面粗さセンサの光学系を利用した近接覚センシング

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概要

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• The authors have proposed a new optical method for measuring surface roughness by use of a halogen light source and a CCD camera. Based on the Torrance-Sparrow model, the proposed procedure theoretically converts the data of the reflected light into surface roughness represented in R_q (roughness in root mean square). In this paper, we attempt to use the proposed optical roughness sensor as a proximity sensor, which can measure both the gap distance between the sensor and the surface and the inclination angle of the surface. By moving the optical sensor actively, the proposed optical roughness sensor can be used as a proximity sensor.

• 社団法人精密工学会の論文
• 2002-09-05

著者

• 原田 博之

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 山口 晃生

  熊本大学工学部機械システム工学科

• 原田 博之

  熊本大学工学部知能生産システム工学科

• 野田 敦彦

  崇城大学工学部

• 河野 満次

  西日本電線(株)

• 山口 晃生

  熊本大 大学院自然科学研究科

• 原田 博之

  熊本大学

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