小型自走機械群による超精密生産機械システム(第2報) : 精密点描加工と遠隔制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes a miniature robot which has been developed for the flexible micro indentation. The basic mechanism of this small robot is the combination of piezo elements for microscopic locomotion and electromagnet for clamping on the working surface. This arrangement can give the precise mobility on any curved surface without special guideways. In order to provide micro manipulation, the small electromagnet actuator of voice coil motor with 2 control axes is mounted on it. This electromagnet actuator is also capable of locating the position of micro tool in lateral and indenting the tool on the sample. In the experiment, the performances such that the small robot can travel precisely and provide several micro dents of 2 μ m to 200 μ m in diameter are presented. With the help of the CCD camera vision instrument and the computer assisted control system that can monitor the coordinate position of the small robot and govern its motion, it succeeds in moving to the specified working area automatically and providing small Japanese characters which are composed of microscopic dents within 100 μ m square.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-12-05
著者
関連論文
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第5報) : 圧電アクチュエーターの機能解析と速度向上
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第4報) : 補正手法の改良と補正実験
- 多重光路型レーザ干渉計による高周波数用振動加速度校正装置の開発
- 2A1-N-083 微細ツールを搭載した超小型ロボットと焦点自動位置決め(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 2A1-N-082 XYθ型自走機械による精密ドリル加工システムの開発(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 積層圧電アクチュエータで駆動するマイクロロボット (特集 電子セラミックス材料の積層技術)
- 付着液滴の表面張力振動にともなう混合現象(ながれマルチメディア)
- 微細作業用マイクロロボットの基礎と応用
- 微小情報機器のためのマイクロアクチュエータ(第2部微小化技術の最先端)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム-第36報 音響信号による自動誘導-
- 4105 マイクロロボットをもちいた顕微作業システム : 微少流体制御によるマイクロマニピュレーションツールの開発(OS4-1 循環生産システム・新しい生産システムアーキテクチャ)
- マイクロロボットによる微細作業技術の開発と応用
- 微小液滴(ピコリットル)塗布機構の開発 : 精密な塗布量の制御(MEMSとナノテクノロジー1)
- イン・アタッシュケース式ナノ作業用マイクロロボットシステムの開発(MEMSとナノテクノロジー1)
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第3報) : 補正手法の提案と補正実験
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第2報) : 円弧動作の解析と動作実験
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第69報 XYθ型移動機構の円弧動作の自動補正システム
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第68報 XYθ型小型自走機械用マニピュレータの開発
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム:第64報XYθ型移動機構の顕微鏡下微細作業
- 三台のマイクロロボットの協調によるSEM内でのフレキシブル試料台の精密位置決めシステム
- 2P2-61-090 SEM 内微細作業用マイクロロボットと YAG レーザによる微細加工
- マイクロロボットの位置決め技術(自律移動体の位置決め技術)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム-第38報-微小化学反応操作の自動化-
- 小型自走機械による超精密生産機械システム-第37報-微小液体の捕獲と混合-
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第3報) : 毛細管捕獲プローブの設計と応用
- 多機能毛細管マニピュレータを搭載した超小型精密自走機械の設計と試作
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第18報 マイクロハンマ加工の自動化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第2報) : 精密点描加工と遠隔制御
- マイクロターニングシステム(MTS)
- 超小型CNC精密旋盤の開発
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第55報 熱源の搭載と熱処理作業の試み
- 2A1-3F-F8 遠隔制御された超小型ロボットによる微細加工搬送システム
- 3cm角小型ロボットと微少液滴塗布システム (特集 マイクロ・ロボット)
- 2A1-C03 小型ねずみ車式移動機構の開発 : 第1報,基本構造と性能(車輪移動ロボット・メカトロニクス)
- B142 付着液滴の振動と混合 : 実験の理論的解釈(B-14 マイクロ・ナノ流体(2),一般講演)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第67報-ホッピング加工による微細パターンの形成
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム:第60報受精細胞の孵化
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第56報 精密交接による細胞操作の試み
- 圧電素子を利用した微細作業用超小型ロボット (特集 積層圧電アクチュエータの最新応用(大学・研究所))
- 圧電素子を用いた小型半球チルトステージの開発
- マイクロロボットファクトリの現状と将来