共有結合性セラミックスのレーザー加工に関する研究(第3報) : 電離蒸気の空間分布と制御
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概要
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This paper describes the dynamic behavior of laser-produced ionizing vapor in laser-processing the covalent bond-ceramics. The distribution of laser-ionized vapor is determined by the measurements of electrical potential using newly developed small pin-type electric probes. The desity of ionized vapor is highest around a laser beam axis above the workpiece. The distribution and motion of ionized vapor is successfully controlled under the external electric field.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-08-05
著者
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