共有結合性セラミックスのレーザ加工に関する研究(第1報) : 蒸気圧とプラズマの生成挙動
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概要
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This paper describes the dynamic behavior of the vapor pressure and plasma potential to investigate the metallic phase formation mechanism in laser-processing of the covalent bond-ceramics. The vapor pressure was measured with a high sensitivity acceleration sensor. The plasma potential was detected with electrical probes, which have been newly developed. The vapor pressure increases linearly with the peak power to about 39.2 MPa. The plasma propagation speed is higher than the velocity of sound nearby the target.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-04-05
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