レーザ誘起プレーティングにおけるレーザ加熱の効果
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概要
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This paper describes the effects of laser heating on the electroless plating process. In the experiment, a focused YAG laser beam and a copper electroless plating solution were used. In the analysis, the temperature distribution was calculated by the solution of the heat conduction equation. In the first stage on the laser-induced plating, the rapid heating effect induces the nucleation reaction. In the second stage, the partially heating effect enhances the reduction reaction based on the micro-convection, which depends on the sharp temperature profile.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-12-05
著者
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