弾性変形・熱変形にもとづく真空チャック面の平面度変化 : 超精密旋削用油静圧式主軸に関する実験的解析
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概要
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This paper presents the flatness change of attracting surface of vacuum chuck based upon elastic and thermal deformations of the chuck and spindle. Increase in the centrifugal force causes a concave flatness change of the surface, for example approx. -0.2μm. Probe traversing method is proposed to obtain the surface profile. Heat generated by the spindle rotation causes nearly uniform temperature increase of the chuck surface. However, thermal deformation causes a convex flatness change of the surface, for example approx. 2μm, because the chuck is fastened at the outer portion with steel bolts of which thermal expansion coefficient is less than that of aluminum chuck.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1990-09-05
著者
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