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速水 清 | 新潟県工業技術センター
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関連著者
横山 和宏
新潟大学工学部機械システム工学科
横山 和宏
新潟大学工学部
一宮 亮一
新潟大学工学部
一宮 亮一
福山大
速水 清
新潟県工業技術センター
著作論文
弾性変形・熱変形にもとづく真空チャック面の平面度変化 : 超精密旋削用油静圧式主軸に関する実験的解析
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