透過型顕微干渉法による微小球面の形状測定

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1969-05-05

著者

• 今井 秀孝

  計量研究所

• 今井 秀孝

  工業技術院計量研究所

• 後藤 充夫

  工業技術院計量研究所

• 飯塚 幸三

  工業技術院軽量研究所

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