ITO透明導電膜の作製と特性評価
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概要
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In this paper, electrical and optical properties of ITO (indium tin oxide) films prepared under several deposition conditions by using rf-magnetoron sputtering are reported. Deposition conditions such as applied rf-power, substrate temperature and oxygen partial pressure to total gas pressure have been varied. Most of the samples show transmittance of visible light above 73%. The remarkably dominant deposition condition, to obtain low resistivity films, is found to be oxygen partial pressure; the optimum partial pressure is 0.25%.
- 東海大学の論文
- 1996-03-30
著者
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