混合溶液を用いた減圧沸騰噴霧によるCVD法の提案 : 直径200mm以上の大面積ウエハに供給可能な噴射弁の製作と評価
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概要
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- 2012-07-31
著者
-
千田 二郎
同志社大学理工学部
-
石田 耕三
(株)堀場製作所
-
千田 二郎
同志社大学
-
千田 二郎
同志社大学大学院
-
大嶋 元啓
福井工業大学
-
石田 耕三
株式会社堀場製作所
-
宮本 英典
同志社大学大学院
-
Senda Jiro
Dept. Of Mechanical Engineering Doshisha University
-
千田 二郎
同志社大学工学部 噴霧・燃焼工学研究室
-
石田 耕三
堀場製作所
-
松下 雅哉
同志社大学大学院
-
千田 二郎
Dept. of Mech. Eng, Doshisha University
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