松下 雅哉 | 同志社大学大学院

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概要

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関連著者

• 松下 雅哉

  同志社大学大学院

• 千田 二郎

  同志社大学

• 大嶋 元啓

  福井工業大学

• 宮本 英典

  同志社大学大学院

• 石田 耕三

  堀場製作所

• 千田 二郎

  同志社大学理工学部

• 石田 耕三

  (株)堀場製作所

• 千田 二郎

  同志社大学大学院

• 石田 耕三

  株式会社堀場製作所

• Senda Jiro

  Dept. Of Mechanical Engineering Doshisha University

• 千田 二郎

  同志社大学工学部 噴霧・燃焼工学研究室

• 千田 二郎

  Dept. of Mech. Eng, Doshisha University

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著作論文

• 減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の提案 : 新気化供給用噴射弁の作成
• 混合溶液を用いた減圧沸騰噴霧によるCVD法の提案(直径200mm以上の大面積ウエハに供給可能な噴射弁の製作と評価 (第20回微粒化シンポジウム特集号)
• 混合溶液を用いた減圧沸騰噴霧によるCVD法の提案 : 直径200mm以上の大面積ウエハに供給可能な噴射弁の製作と評価
• 減圧沸騰噴霧を利用したバーナ火炎によるナノ粒子燃焼合成法の構築

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