低誘電率材料の価電子EELSを用いた誘電率測定
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概要
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- 2012-06-30
著者
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大塚 祐二
株式会社東レリサーチセンター
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川崎 直彦
株式会社東レリサーチセンター
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小川 真一
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
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大塚 祐二
東レリサーチセンター
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小川 真一
産業技術総合研究所
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迫 秀樹
東レリサーチセンター形態科学研究部
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川崎 直彦
東レリサーチセンター形態科学研究部
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