標準コンダクタンスエレメントとコンダクタンス変調法の組み合わせによる高真空ポンプの実効排気速度と電離真空計の感度のその場測定法

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概要

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• 2012-05-20

著者

• 小畠 時彦

  独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 秋道 斉

  (独)産業技術総合研究所

• 吉田 肇

  (独)産業技術総合研究所

• 吉田 肇

  (独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 秋道 斉

  (独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 小畠 時彦

  (独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門

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